نېمە ئۈچۈن UHP گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسى بۇنچە مۇھىم؟
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا - ئويۇش، CVD، ئىئون ئىمپلانتاتسىيەسى ۋە لىتوگرافىيە قاتارلىق جەريانلاردا - ئىشلەپچىقىرىش گازلىرىنىڭ ساپلىقى ئىنتايىن يۇقىرى بولۇشى كېرەك، ئادەتتە %99.9999 (6N) ياكى %99.99999 (7N). ھەتتا ppb (بىر مىليارد پارچە) ياكى ppt (بىر تىرىليون پارچە) سەۋىيىسىدىكى نەملىك ياكى ئوكسىگېن قاتارلىق ئىز قالىدىغان ماددىلارمۇ دەرۋازا ئوكسىدىنىڭ سۇيۇقلىنىشى، مېتال بوشلۇقلار ياكى لېنتىلاردا قىسقا توك يولى قاتارلىق ئەجەللىك نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، پۈتۈن بىر تۈركۈمنى ۋەيران قىلىشى مۇمكىن.
شۇڭا UHP گاز يەتكۈزۈش سىستېمىسىنىڭ ۋەزىپىسى گازلارنى مەنبەدىن پىششىقلاپ ئىشلەش قورالىغا يەتكۈزۈش بولۇپ، ساپلىقى بۇزۇلۇپ كەتمەيدۇ، ھەر بىر نۇقتىدا بۇلغىنىش ۋە ئېقىپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
نېمە ئۈچۈن EP تۇرۇبىسى UHP سىستېمىسىنىڭ ئاساسىغا ئايلاندى؟
EP (ئېلېكتروپولىزلانغان) تۇرۇبا ئېلېكتروخىمىيىلىك سىلىقلاش جەريانىدىن ئۆتىدىغان داتلاشماس پولاتتىن ياسالغان بولۇپ، ئەينەككە ئوخشاش ئىچكى يۈزى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئۇنى UHP گاز تارقىتىش ئۈچۈن مۇھىم «تومۇر»غا ئايلاندۇرىدۇ.
ئەڭ يۇقىرى پاكىزلىق - مەنبەدىن ئالدىنى ئېلىش
EP بىر تەرەپ قىلىش ئىچكى يۈزەكى پۇراقلىقنى (Ra) 0.13 µm – 0.25 µm ياكى ئۇنىڭدىنمۇ تۆۋەنگە چۈشۈرىدۇ. بۇ خىل ئىنتايىن سىلىق رەڭ مىكروسكوپ يېرىقلىرى ۋە ئادسوربسىيە ئورۇنلىرىنى يوقىتىپ، زەررىچىلەر، مېتال ئىئونلىرى ياكى نەملىكنىڭ يېپىشىشىغا بوشلۇق قالدۇرمايدۇ.
چىرىشكە قارشى تۇرۇش كۈچىنى ئاشۇرۇش - ساپلىقنى ساقلاش
ئېلېكترو سىلىقلاش باسقۇچى يۈزەكى كىرلەرنى چىقىرىۋېتىپ، خروم ئوكسىدقا باي پاسسىپ قەۋەت ھاسىل قىلىپ، Cl₂، CF₄ ۋە HCl قاتارلىق چىرىشچان گازلارغا بولغان چىدامچانلىقىنى كۆرۈنەرلىك دەرىجىدە ئاشۇرىدۇ. بۇ، تۇرۇبا تېمىنىڭ زەررىچە ياكى گاز بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان چىرىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
ئېقىن ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇش ۋە تېز تازىلاش
سىلىق ئىچكى تام ئېقىم قارشىلىقىنى تۆۋەنلىتىدۇ ۋە سىستېمىنىڭ تازىلىنىشى ۋە گازنىڭ ئورنىنى ئېلىشىنى تېزلىتىدۇ. تېز گاز ئالماشتۇرۇشنى تەلەپ قىلىدىغان جەريانلاردا، بۇ ئايلىنىش ۋاقتىنى قىسقارتىدۇ ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئاشۇرىدۇ.
ئالىي دەرىجىلىك ماتېرىيال – «تاج» ئۆلچىمى
يۇقىرى سۈپەتلىك EP تۇرۇبىسى 316L VIM-VAR (ۋاكۇئۇم ئىندۇكسىيەلىك ئېرىتىش + ۋاكۇئۇم قوس قايتا ئېرىتىش) داتلاشماس پولاتتىن ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. بۇ قوش ئېرىتىش جەريانى ئاساسىي مېتالنىڭ ئەڭ يۇقىرى مىقداردىكى ساپلىقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، بۇ EP نىڭ ئەڭ يۇقىرى ئىقتىدارىغا ئېرىشىشنىڭ ئاساسىي شەرتى.
ئاساسلىق قوللىنىش سىنارىيەلىرى
•
ئاساسلىق جەريانلار– ئويۇش، يۈرەك-قان تومۇر كېسەللىكلىرى، ئىئون ئىمپلانتاتسىيەسى ۋە لىتوگرافىيە ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى رېئاكتىپ گازلارنى يەتكۈزۈش.
•
ئالاھىدە گازلار– SiH₄، PH₃، Cl₂ ۋە BCl₃ قاتارلىق ئاسان ئوت ئالىدىغان، زەھەرلىك ياكى چىرىشچان گازلارنى بىخەتەر بىر تەرەپ قىلىش. ئىنتايىن خەتەرلىك گازلار ئۈچۈن، قوش قاپلىغۇچلۇق EP تۇرۇبىسى كۆپ ئىشلىتىلىدۇ (ئىچكى تۇرۇبا گاز ئۈچۈن، سىرتقى قاپاق ئېقىشنى نازارەت قىلىش ئۈچۈن ئازوت بىلەن پۈركۈلىدۇ).
•
مۇھىم ئۈسكۈنىلەر– ئىچكى يۈزىنىڭ ئىنتايىن پاكىز بولۇشى تەلەپ قىلىنىدىغان گاز تەقسىملەش تاختىلىرى (VMB)، گاز ئىشكاپلىرى ۋە پىششىقلاپ ئىشلەش قوراللىرىنىڭ ئۇلىنىشى قاتارلىق ساھەلەردە ئىشلىتىلىدۇ.
تۇرۇبا يولىدىن باشقا: تولۇق UHP سىستېمىسى ئۈچۈن باشقا مۇھىم نەرسىلەر
سىستېمىنىڭ مۇتلەق پۈتۈنلۈكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئېلىشى كېرەك:
•
تولۇق ئاپتوماتىك ئوربىتا كەپشەرلەش– ISO 5-دەرىجىلىك (100-دەرىجىلىك) ياكى ئۇنىڭدىنمۇ يۇقىرى دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيلەردە ئىشلەنگەن بولۇپ، قولدا كەپشەرلەشتىكى ئۆزگىرىشلەر ۋە بۇلغىنىش خەۋپىنى يوقىتىدۇ.
•
پۈتۈنلەي مېتال يۈز چاپلاقلىرى– مەسىلەن، VCR® ياكى W-Seal تىپلىرى، ئۇلار نۆل ئېقىش ئۈنۈمى ئۈچۈن مېتال قىستۇرمىلارغا تايىنىدۇ.
•
قاتتىق تازىلاش ۋە ئوراپ قاچىلاش– EP تۇرۇبىلىرى ئادەتتە يۇقىرى ساپلىقتىكى سۇ بىلەن پاكىزلىنىپ، قۇرۇتۇلىدۇ ۋە ئازوت بىلەن پۈركۈلىدۇ، ئاندىن پاكىز ئۆي ئورالمىسىغا قوش خالتىغا قاچىلىنىدۇ، بۇ ئۇلارنىڭ ئورنىتىلىشقىچە «ئەۋەتىلگەندىن كېيىنكى» ساپلىقىنى ساقلايدۇ.
EP تۇرۇبىسى پەقەت بىر تۇرۇبا ئەمەس، بەلكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ گاز يەتكۈزۈشتىكى بىرىنچى مۇداپىئە سېپى. ئۇنىڭ ئىنتايىن سىلىق يۈزى، يۇقىرى دەرىجىلىك چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئالىي دەرىجىلىك ماتېرىيال ساپلىقى بىۋاسىتە ۋافېر ئۈنۈمى، ئۈسكۈنە ئىشەنچلىكلىكى ۋە ئومۇمىي ئىشلەپچىقىرىش پايدىسىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. 5nm دىن تۆۋەن تۈگۈنلەر ۋە بارغانسېرى قاتتىق نۇقسانلىق خامچوتلار دۇنياسىدا، EP تۇرۇبىسى تاللاشقا بولىدىغان ئەمەس، بەلكى ئاساسىي ئامىل.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 8-ئاينىڭ 5-كۈنى