يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تۇرۇبىسىنىڭ يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەر ئۈچۈن ئەھمىيىتى

As ярим өткөргүчمىكرو ئېلېكترونلۇق تېخنىكىلار يۇقىرى ئىقتىدار ۋە يۇقىرى بىر گەۋدىلىشىشكە قاراپ تەرەققىي قىلىۋاتقانلىقتىن، ئېلېكترونلۇق ئالاھىدە گازلارنىڭ ساپلىقىغا تېخىمۇ يۇقىرى تەلەپلەر قويۇلماقتا. يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تۇرۇبا تېخنىكىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسىنىڭ مۇھىم بىر قىسمى. ئۇ گاز ئىشلىتىش نۇقتىلىرىغا تەلەپكە ماس كېلىدىغان يۇقىرى ساپلىقتىكى گازلارنى يەتكۈزۈشنىڭ ئاچقۇچلۇق تېخنىكىسى بولۇپ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا لاياقەتلىك سۈپەتنى ساقلاپ قالىدۇ.

يۇقىرى ساپلىقتىكى تۇرۇبا تېخنىكىسى سىستېمىنىڭ توغرا لايىھىسى، تۇرۇبا زاپچاسلىرى ۋە ياردەمچى ماتېرىياللارنى تاللاش، قۇرۇلۇش، ئورنىتىش ۋە سىناق قىلىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.

01 گاز يەتكۈزۈش تۇرۇبىسىنىڭ ئومۇمىي چۈشەنچىسى

بارلىق يۇقىرى ساپلىق ۋە يۇقىرى پاكىزلىقتىكى گازلارنى تۇرۇبا يولى ئارقىلىق تېرمىنال گاز نۇقتىسىغا يەتكۈزۈش كېرەك. گازنىڭ ئىشلەپچىقىرىش سۈپىتى تەلىپىگە يېتىش ئۈچۈن، گاز ئېكسپورت كۆرسەتكۈچى ئېنىق بولغاندا، تۇرۇبا سىستېمىسىنىڭ ماتېرىيال تاللاش ۋە قۇرۇلۇش سۈپىتىگە دىققەت قىلىش تېخىمۇ زۆرۈر. گاز ئىشلەپچىقىرىش ياكى تازىلاش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ توغرىلىقىدىن باشقا، تۇرۇبا سىستېمىسىنىڭ نۇرغۇن ئامىللىرى بۇنىڭغا زور دەرىجىدە تەسىر كۆرسىتىدۇ. شۇڭا، تۇرۇبا تاللاشتا ئالاقىدار تازىلاش كەسپى پىرىنسىپلىرىغا ئەمەل قىلىش ۋە سىزمىلاردا تۇرۇبا ماتېرىياللىرىنى بەلگىلەش كېرەك.

02 يۇقىرى ساپلىقتىكى تۇرۇبا يوللىرىنىڭ گاز توشۇشتىكى ئەھمىيىتى

يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز توشۇشتا يۇقىرى ساپلىقتىكى تۇرۇبا يوللىرىنىڭ ئەھمىيىتى داتلاشماس پولات ئېرىتىش جەريانىدا، ھەر بىر توننا تەخمىنەن 200 گرام گازنى سۈمۈرۈۋالالايدۇ. داتلاشماس پولات پىششىقلاپ ئىشلەنگەندىن كېيىن، ئۇنىڭ يۈزىگە ھەر خىل بۇلغىمىلار چاپلىشىپلا قالماي، يەنە مېتال تورغا بەلگىلىك مىقداردا گاز سۈمۈرۈلىدۇ. تۇرۇبا يولىدىن ھاۋا ئېقىمى ئۆتكەندە، مېتال سۈمۈرۈۋالغان گازنىڭ بىر قىسمى ھاۋا ئېقىمىغا قايتا كىرىپ، ساپ گازنى بۇلغىيدۇ.

تۇرۇبا ئىچىدىكى ھاۋا ئېقىمى ئۈزۈلگەندە، تۇرۇبا ئۆتۈۋاتقان گاز ئۈستىدە بېسىم سۈمۈرۈلۈشىنى ھاسىل قىلىدۇ. ھاۋا ئېقىمى ئۆتۈشتىن توختىغاندا، تۇرۇبا تەرىپىدىن سۈمۈرۈلگەن گاز بېسىم تۆۋەنلىتىش ئانالىزىنى ھاسىل قىلىدۇ، ئانالىز قىلىنغان گازمۇ تۇرۇبا ئىچىدىكى ساپ گازغا قوشۇلما ماددا سۈپىتىدە كىرىدۇ.

شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، ئادسوربسىيە ۋە ئانالىز دەۋرىيلىكى تۇرۇبا ئىچكى يۈزىدىكى مېتالنىڭ بەلگىلىك مىقداردا پاراشوك ھاسىل قىلىشىغا سەۋەب بولىدۇ. بۇ مېتال چاڭ-توزان زەررىچىسى تۇرۇبا ئىچىدىكى ساپ گازنى بۇلغىيدۇ. تۇرۇبانىڭ بۇ ئالاھىدىلىكى ناھايىتى مۇھىم. توشۇلغان گازنىڭ ساپلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، تۇرۇبا ئىچكى يۈزىنىڭ ئىنتايىن يۇقىرى سىلىقلىقىغا ئىگە بولۇشىلا ئەمەس، بەلكى يۇقىرى ئۇپراشقا چىداملىق بولۇشىمۇ تەلەپ قىلىنىدۇ.

گاز كۈچلۈك چىرىش خۇسۇسىيىتىگە ئىگە بولغاندا، چىرىشكە چىداملىق داتلاشماس پولات تۇرۇبا ئىشلىتىش كېرەك. بولمىسا، چىرىش سەۋەبىدىن تۇرۇبا ئىچكى يۈزىدە چىرىش داغلىرى پەيدا بولىدۇ. ئېغىر ئەھۋاللاردا، چوڭ مېتال پارچىلىرى سويۇلۇپ كېتىدۇ ياكى ھەتتا تۆشۈك بولۇپ، شۇنىڭ بىلەن توشۇلۇۋاتقان ساپ گازنى بۇلغىۋېتىدۇ.

03 تۇرۇبا ماتېرىيالى

تۇرۇبا ماتېرىيالىنى تاللاش ئىشلىتىش ئېھتىياجىغا ئاساسەن تاللىنىشى كېرەك. تۇرۇبا سۈپىتى ئادەتتە تۇرۇبا ئىچكى يۈزىنىڭ داغسىزلىقىغا ئاساسەن ئۆلچىنىدۇ. داغسىزلىق قانچە تۆۋەن بولسا، ئۇنىڭدا زەررىچىلەرنىڭ بولۇشى شۇنچە ئاز بولىدۇ. ئادەتتە ئۈچ تۈرگە بۆلىنىدۇ:

بىرىEP دەرىجىلىك 316L تۇرۇبا، ئېلېكترولىتلىق سىلىقلاش ئۇسۇلى بىلەن سىلىقلانغان (ئېلېكترو-پولشا). ئۇ چىرىشكە چىداملىق بولۇپ، يۈزىنىڭ نازۇكلىقى تۆۋەن. Rmax (چوققا بىلەن ۋادىنىڭ ئېگىزلىكىنىڭ ئەڭ يۇقىرى قىممىتى) تەخمىنەن 0.3μm ياكى ئۇنىڭدىن تۆۋەن. ئۇ ئەڭ يۇقىرى تۈزلۈككە ئىگە بولۇپ، مىكرو-قويۇق ئېقىم ھاسىل قىلىش ئاسان ئەمەس. بۇلغانغان زەررىچىلەرنى چىقىرىۋېتىڭ. بۇ جەرياندا ئىشلىتىلگەن رېئاكسىيە گازى بۇ سەۋىيەدە تۇرۇبا يولى ئارقىلىق يەتكۈزۈلۈشى كېرەك.

بىرى بىرBA دەرىجىسى 316LBright Anneal بىلەن بىر تەرەپ قىلىنغان تۇرۇبا بولۇپ، كۆپىنچە چىپ بىلەن ئۇچرىشىدىغان، ئەمما جەريان رېئاكسىيەسىگە قاتناشمايدىغان گازلار، مەسىلەن GN2 ۋە CDA ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. بىرى AP تۇرۇبىسى (يۇمشىتىش ۋە تاللاش) بولۇپ، ئۇ ئالاھىدە بىر تەرەپ قىلىنمايدۇ ۋە ئادەتتە گاز بىلەن تەمىنلەش لىنىيىسى سۈپىتىدە ئىشلىتىلمەيدىغان قوش سىرتقى تۇرۇبا ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.

04 تۇرۇبا يولى قۇرۇلۇشى

تۇرۇبا ئېغىزىنى پىششىقلاپ ئىشلەش بۇ قۇرۇلۇش تېخنىكىسىنىڭ مۇھىم نۇقتىلىرىنىڭ بىرى. تۇرۇبا يولىنى كېسىش ۋە ئالدىن ياساش پاكىز مۇھىتتا ئېلىپ بېرىلىدۇ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، كېسىشتىن بۇرۇن تۇرۇبا يولىنىڭ يۈزىدە زىيانلىق ئىزلار ياكى بۇزۇلۇشلارنىڭ يوقلۇقىغا كاپالەتلىك قىلىنىدۇ. تۇرۇبا يولىنى ئېچىشتىن بۇرۇن تۇرۇبا يولىغا ئازوت قۇيۇش تەييارلىقى قىلىنىشى كېرەك. پىرىنسىپ جەھەتتىن ئېيتقاندا، يۇقىرى ساپلىق ۋە يۇقىرى پاكىزلىقتىكى گاز يەتكۈزۈش ۋە تارقىتىش تۇرۇبا يوللىرىنى چوڭ ئېقىم بىلەن ئۇلاش ئۈچۈن كەپشەرلەش ئىشلىتىلىدۇ، ئەمما بىۋاسىتە كەپشەرلەشكە يول قويۇلمايدۇ. قاپاق ئۇلىنىشى ئىشلىتىلىشى كېرەك، ھەمدە ئىشلىتىلگەن تۇرۇبا ماتېرىيالى كەپشەرلەش جەريانىدا قۇرۇلمىسىدا ئۆزگىرىش بولماسلىقى كېرەك. ئەگەر كاربون مىقدارى بەك يۇقىرى ماتېرىيال كەپشەرلەنسە، كەپشەرلەش قىسمىنىڭ ھاۋا ئۆتكۈزۈشچانلىقى تۇرۇبا ئىچى ۋە سىرتىدىكى گازنىڭ بىر-بىرىگە سىڭىپ كىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، يەتكۈزۈلىدىغان گازنىڭ ساپلىقى، قۇرۇقلىقى ۋە پاكىزلىقىغا بۇزغۇنچىلىق قىلىدۇ، بۇ ئېغىر ئاقىۋەتلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ۋە ئىشلەپچىقىرىش سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.

خۇلاسە قىلىپ ئېيتقاندا، يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز ۋە ئالاھىدە گاز يەتكۈزۈش تۇرۇبا يوللىرى ئۈچۈن، ئالاھىدە بىر تەرەپ قىلىنغان يۇقىرى ساپلىقتىكى داتلاشماس پولات تۇرۇبا ئىشلىتىلىشى كېرەك، بۇ يۇقىرى ساپلىقتىكى تۇرۇبا سىستېمىسى (توبۇس يوللىرى، تۇرۇبا زاپچاسلىرى، كلاپانلار، VMB، VMP قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ) يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تەقسىماتىدا مۇھىم رول ئوينايدۇ.