ئېلېكترونلۇق قۇرۇلۇش سىستېمىسىدا يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تۇرۇبا يولىنى قوللىنىش

909-نومۇرلۇق قۇرۇلۇش ئىنتايىن چوڭ كۆلەمدىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى زاۋۇتى توققۇزىنچى بەش يىللىق پىلان مەزگىلىدە ئېلىمىزنىڭ ئېلېكترون سانائىتىنىڭ ئاساسلىق قۇرۇلۇش تۈرى بولۇپ ، قۇر كەڭلىكى 0.18 مىكرون ، دىئامېتىرى 200 مىللىمېتىر.

ئىنتايىن چوڭ كۆلەمدىكى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ياساش تېخنىكىسى مىكرو ماشىنىغا ئوخشاش يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى تېخنىكىلارنى ئۆز ئىچىگە ئېلىپلا قالماي ، يەنە گازنىڭ ساپلىقىغا يۇقىرى تەلەپ قويىدۇ.
909-تۈردىكى ئاساسلىق گاز بىلەن تەمىنلەشنى ئامېرىكا Praxair Utility Gas چەكلىك شىركىتى ۋە شاڭخەيدىكى ئالاقىدار تەرەپلەر بىرلىكتە تەبىئىي گاز ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتى قۇرغان. تەبىئىي گاز ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتى 909 تۈر زاۋۇتىغا قوشنا. بىنا تەخمىنەن 15000 كۋادرات مېتىر كېلىدۇ. ھەر خىل گازلارنىڭ ساپلىقى ۋە چىقىرىش تەلىپى

يۇقىرى ساپلىقتىكى ئازوت (PN2) ، ئازوت (N2) ۋە يۇقىرى ساپلىقتىكى ئوكسىگېن (PO2) ھاۋانى ئايرىش ئارقىلىق ھاسىل بولىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى ھىدروگېن (PH2) ئېلېكترولىز ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. ئارگون (Ar) ۋە گېلىي (He) سىرتقا ھۆددىگە بېرىلگەن. كۇئاس گازى 909-تۈردە ساپلاشتۇرۇلۇپ سۈزۈلۈپ ئىشلىتىلىدۇ. بوتۇلكىلاردا ئالاھىدە گاز تەمىنلىنىدۇ ، گاز بوتۇلكىسى ئىشكاپى توپلاشتۇرۇلغان توك يولى ئىشلەپچىقىرىش زاۋۇتىنىڭ ياردەمچى سېخىغا جايلاشقان.
باشقا گازلار يەنە پاكىز قۇرۇق پىرىسلانغان ھاۋا CDA سىستېمىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ، ئىشلىتىش مىقدارى 4185m3 / h ، بېسىم شەبنەم -70 ° C ، ئىشلىتىش نۇقتىسىدىكى گازنىڭ زەررىچىسى 0.01um دىن ئېشىپ كەتمەيدۇ. نەپەسلەنگەن پىرىسلانغان ھاۋا (BA) سىستېمىسى ، ئىشلىتىش مىقدارى 90m3 / h ، بېسىم شەبنەم نۇقتىسى 2 ℃ ، ئىشلىتىش نۇقتىسىدىكى گازنىڭ زەررىچە چوڭلۇقى 0.3um دىن ئېشىپ كەتمەيدۇ ، ۋاكۇئۇم (PV) سىستېمىسى ، ئىشلىتىش مىقدارى 582m3 / h ، ئىشلىتىش نۇقتىسىدىكى ۋاكۇئۇم دەرىجىسى -79993Pa. تازىلاش ۋاكۇئۇم (HV) سىستېمىسى ، ئىشلىتىش مىقدارى 1440m3 / h ، ئىشلىتىش نۇقتىسىدىكى ۋاكۇئۇم دەرىجىسى -59995 Pa. ھاۋا پرېسلاش ئۆيى ۋە ۋاكۇئۇم پومپىسى ئۆيى 909 تۈر زاۋۇتى رايونىغا جايلاشقان.

تۇرۇبا ماتېرىياللىرى ۋە قوشۇمچە زاپچاسلارنى تاللاش
VLSI ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلىدىغان گازنىڭ تازىلىق تەلىپى ئىنتايىن يۇقىرى.يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تۇرۇبا يولىئادەتتە پاكىز ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا ئىشلىتىلىدۇ ، ئۇلارنىڭ پاكىزلىقىنى كونترول قىلىش ئىشلىتىلىۋاتقان بوشلۇقنىڭ پاكىزلىق دەرىجىسىگە ماس كېلىشى ياكى ئۇنىڭدىن يۇقىرى بولۇشى كېرەك! ئۇنىڭدىن باشقا ، يۇقىرى ساپلىقتىكى تەبىئىي گاز تۇرۇبا يولى پاكىز ئىشلەپچىقىرىش مۇھىتىدا دائىم ئىشلىتىلىدۇ. ساپ ھىدروگېن (PH2) ، يۇقىرى ساپلىقتىكى ئوكسىگېن (PO2) ۋە بىر قىسىم ئالاھىدە گازلار ئاسان يانىدىغان ، پارتىلاتقۇچ دورا ، كۆيۈشنى قوللايدىغان ياكى زەھەرلىك گاز. ئەگەر گاز تۇرۇبا سىستېمىسى نامۇۋاپىق لايىھەلەنگەن بولسا ياكى ماتېرىياللار نامۇۋاپىق تاللانسا ، گاز نۇقتىسىدا ئىشلىتىلگەن گازنىڭ ساپلىقى تۆۋەنلەپلا قالماي ، يەنە مەغلۇپ بولىدۇ. ئۇ جەريان تەلىپىگە ماس كېلىدۇ ، ئەمما ئىشلىتىش بىخەتەر ئەمەس ھەمدە پاكىز زاۋۇتنىڭ بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، پاكىز زاۋۇتنىڭ بىخەتەرلىكى ۋە پاكىزلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئىشلىتىش نۇقتىسىدىكى يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز سۈپىتىنىڭ كاپالىتى تەبىئىي گاز ئىشلەپچىقىرىش ، ساپلاشتۇرۇش ئۈسكۈنىسى ۋە سۈزگۈچنىڭ توغرىلىقىغا باغلىق بولۇپلا قالماي ، تۇرۇبا سىستېمىسىدىكى نۇرغۇن ئامىللارنىڭ تەسىرىگە كۆپ ئۇچرايدۇ. ئەگەر بىز گاز ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرى ، ساپلاشتۇرۇش ئۈسكۈنىلىرى ۋە سۈزگۈچلەرگە تايانساق ، نامۇۋاپىق گاز تۇرۇبا سىستېمىسى لايىھىسى ياكى ماتېرىيال تاللاشنىڭ ئورنىنى تولدۇرۇش ئۈچۈن چەكسىز تېخىمۇ يۇقىرى ئېنىقلىق تەلەپ قىلىش توغرا ئەمەس.
909 تۈرنى لايىھىلەش جەريانىدا ، بىز «پاكىز ئۆسۈملۈكلەرنى لايىھىلەش كودى» GBJ73-84 (ھازىرقى ئۆلچەم (GB50073-2001)) ، «پىرىسلانغان ھاۋا پونكىتى لايىھىلەش كودى» GBJ29-90 ، «كود ئوكسىگېن بېكەتلىرىنى لايىھىلەش ئۈچۈن »GB50030-91 ،« ھىدروگېن ۋە ئوكسىگېن پونكىتى لايىھىلەش كودى »GB50177-93 ۋە تۇرۇبا ماتېرىياللىرى ۋە قوشۇمچە زاپچاسلارنى تاللاشتىكى مۇناسىۋەتلىك تېخنىكىلىق تەدبىرلەر. «پاكىز ئۆسۈملۈكلەرنى لايىھىلەش كودى» دا تۇرۇبا ماتېرىياللىرى ۋە كلاپانلارنى تۆۋەندىكىدەك تاللاش بەلگىلەنگەن:

. ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن ئىچكى تامنى ئىشلىتىش كېرەك. كلاپان دىئافراگما كلاپان ياكى قوڭغۇراق كلاپان بولۇشى كېرەك.

. ئاسان يانىدىغان گاز تۇرۇبا يولىغا ئىشلىتىدىغان قوڭغۇراق كلاپاندىن باشقا ، باشقا گاز تۇرۇبا يولىغا توپ كلاپان ئىشلىتىش كېرەك.

(3) ئەگەر قۇرۇق پىرىسلانغان ھاۋانىڭ شەبنەم نۇقتىسى -70 سېلسىيە گرادۇستىن تۆۋەن بولسا ، سىلىقلانغان ئىچكى تام بىلەن OCr18Ni9 داتلاشماس پولات تۇرۇبا (304) ئىشلىتىش كېرەك. ئەگەر شەبنەم نۇقتىسى -40 below دىن تۆۋەن بولسا ، OCr18Ni9 داتلاشماس پولات تۇرۇبا (304) ياكى ئىسسىق سۇغا چىلانغان گالۋاڭلاشتۇرۇلغان پولات تۇرۇبا ئىشلىتىش كېرەك. كلاپان قوڭغۇراق كلاپان ياكى توپ كلاپان بولۇشى كېرەك.

(4) كلاپان ماتېرىيالى ئۇلاش تۇرۇبىسى ماتېرىيالىغا ماس كېلىشى كېرەك.

ئۆلچەم ۋە ئالاقىدار تېخنىكىلىق تەدبىرلەرنىڭ تەلىپىگە ئاساسەن ، بىز ئاساسلىقى تۇرۇبا ماتېرىياللىرىنى تاللىغاندا تۆۋەندىكى تەرەپلەرنى ئويلىشىمىز:

(1) تۇرۇبا ماتېرىياللىرىنىڭ ھاۋا ئۆتكۈزۈشچانلىقى كىچىك بولۇشى كېرەك. ئوخشىمىغان ماتېرىياللارنىڭ تۇرۇبىسىنىڭ ھاۋا ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئوخشىمايدۇ. ئەگەر ھاۋا ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى تۇرۇبىلار تاللانسا ، بۇلغىنىشنى يوقاتقىلى بولمايدۇ. داتلاشماس پولات تۇرۇبا ۋە مىس تۇرۇبا ئاتموسفېرادىكى ئوكسىگېننىڭ سىڭىپ كىرىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، داتلاشماس پولات تۇرۇبا مىس تۇرۇبىغا قارىغاندا ئاكتىپ بولمىغاچقا ، مىس تۇرۇبىلار ئاتموسفېرادىكى نەملىكنىڭ ئىچكى يۈزىگە سىڭىپ كىرىشىدە تېخىمۇ ئاكتىپ بولىدۇ. شۇڭلاشقا ، يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تۇرۇبا يولى ئۈچۈن تۇرۇبا تاللىغاندا ، داتلاشماس پولات تۇرۇبا بىرىنچى تاللاش بولۇشى كېرەك.

(2) تۇرۇبا ماتېرىيالىنىڭ ئىچكى يۈزى ئېلان قىلىنغان بولۇپ ، گازنى تەھلىل قىلىشقا ئازراق تەسىر كۆرسىتىدۇ. داتلاشماس پولات تۇرۇبا پىششىقلاپ ئىشلەنگەندىن كېيىن ، ئۇنىڭ مېتال رېشاتكىسىدا بەلگىلىك مىقداردا گاز ساقلىنىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز ئۆتسە ، بۇ گازنىڭ بىر قىسمى ھاۋا ئېقىمىغا كىرىپ بۇلغىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، سۈمۈرۈلۈش ۋە ئانالىز قىلىش سەۋەبىدىن ، تۇرۇبىنىڭ ئىچكى يۈزىدىكى مېتالمۇ مەلۇم مىقداردا پاراشوك ئىشلەپ چىقىرىپ ، يۇقىرى ساپلىقتىكى گازنىڭ بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ساپلىقى% 99.999 ياكى ppb سەۋىيىسىدىن يۇقىرى بولغان تۇرۇبا سىستېمىسىغا 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربون داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) ئىشلىتىش كېرەك.

. تازىلاشقا تېخىمۇ يۇقىرى تەلەپ قويۇلغان ئىشلەپچىقىرىش سېخلىرىدا 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربون داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) ياكى OCr18Ni9 داتلاشماس پولات تۇرۇبا (304) نى ئىشلەتسە بولىدۇ ، مىس تۇرۇبا ئىشلىتىشكە بولمايدۇ.

.EP دەرىجىدىن تاشقىرى پاكىز تۇرۇبائىشلىتىش كېرەك. «دەرىجىدىن تاشقىرى سىلىق ئىچكى يۈزى بىلەن پاكىز تۇرۇبا» نى پاكىزلاش.

(5) ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا ئىشلىتىلىدىغان بىر قىسىم ئالاھىدە تەبىئىي گاز تۇرۇبا سىستېمىسى چىرىتىشچان گاز. بۇ تۇرۇبا سىستېمىسىدىكى تۇرۇبىلار چوقۇم چىرىشكە چىداملىق داتلاشماس پولات تۇرۇبىنى تۇرۇبا ئورنىدا ئىشلىتىشى كېرەك. بولمىسا ، چىرىش سەۋەبىدىن تۇرۇبا بۇزۇلۇپ كېتىدۇ. يەر يۈزىدە چىرىش داغلىرى كۆرۈلسە ، ئادەتتىكى يوچۇقسىز پولات تۇرۇبا ياكى گالۋاڭلاشتۇرۇلغان كەپشەرلەنگەن پولات تۇرۇبا ئىشلىتىشكە بولمايدۇ.

(6) پىرىنسىپ جەھەتتىن بارلىق گاز تۇرۇبا يولىنى تۇتاشتۇرۇش كېرەك. گالۋاڭلاشتۇرۇلغان پولات تۇرۇبا كەپشەرلەش ئارقىلىق گالۋاڭلاشتۇرۇلغان قەۋەتنى بۇزىدىغان بولغاچقا ، پاكىز ئۆيلەردىكى تۇرۇبا ئۈچۈن گالۋاڭلاشتۇرۇلغان پولات تۇرۇبا ئىشلىتىلمەيدۇ.

يۇقارقى ئامىللارنى ئويلاشقاندا ، & 7 & تۈردە تاللانغان تەبىئىي گاز تۇرۇبا يولى ۋە كلاپانلار تۆۋەندىكىچە:

يۇقىرى ساپلىقتىكى ئازوت (PN2) سىستېما تۇرۇبىسى 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربونلۇق داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) دىن ياسالغان بولۇپ ، ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن ئىچكى تاملار بار ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپاندىن ياسالغان.
ئازوت (N2) سىستېمىسى تۇرۇبىسى 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربونلۇق داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) دىن ياسالغان بولۇپ ، ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن ئىچكى تام بىلەن كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپاندىن ياسالغان.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ھىدروگېن (PH2) سىستېمىسى تۇرۇبىسى 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربونلۇق داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) دىن ياسالغان بولۇپ ، ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن ئىچكى تاملار بار ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپاندىن ياسالغان.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئوكسىگېن (PO2) سىستېمىسى تۇرۇبىسى 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربونلۇق داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) دىن ياسالغان بولۇپ ، ئېلېكتر سىلىقلانغان ئىچكى تاملار بار ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپاندىن ياسالغان.
ئارگون (Ar) سىستېما تۇرۇبىسى 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربونلۇق داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) دىن ياسالغان ، ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن ئىچكى تام بىلەن ياسالغان ، ئوخشاش ماتېرىيالنىڭ داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپانى ئىشلىتىلگەن.
گېلىي (He) سىستېمىسى تۇرۇبىسى 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربونلۇق داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) دىن ياسالغان بولۇپ ، ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن ئىچكى تام بىلەن كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپاندىن ياسالغان.
پاكىز قۇرۇق پىرىسلانغان ھاۋا (CDA) سىستېما تۇرۇبىسى OCr18Ni9 داتلاشماس پولات تۇرۇبا (304) دىن ياسالغان بولۇپ ، سىلىقلانغان ئىچكى تاملار بار ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپاندىن ياسالغان.
نەپەسلىنىش پىرىسلانغان ھاۋا (BA) سىستېما تۇرۇبىسى OCr18Ni9 داتلاشماس پولات تۇرۇبا (304) دىن ياسالغان ، ئىچكى تاملىرى سىلىقلانغان ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات شار كلاپاندىن ياسالغان.
جەريان ۋاكۇئۇم (PV) سىستېما تۇرۇبىسى UPVC تۇرۇبىسىدىن ياسالغان ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىن ياسالغان ۋاكۇئۇم كېپىنەك كلاپاندىن ياسالغان.
تازىلاش ۋاكۇئۇم (HV) سىستېمىسى تۇرۇبىسى UPVC تۇرۇبىسىدىن ياسالغان ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىن ياسالغان ۋاكۇئۇم كېپىنەك كلاپاندىن ياسالغان.
ئالاھىدە گاز سىستېمىسىنىڭ تۇرۇبىلىرىنىڭ ھەممىسى 00Cr17Ni12Mo2Ti تۆۋەن كاربونلۇق داتلاشماس پولات تۇرۇبا (316L) دىن ياسالغان بولۇپ ، ئېلېكترلەشتۈرۈلگەن ئىچكى تاملار بار ، كلاپانلار ئوخشاش ماتېرىيالدىكى داتلاشماس پولات قوڭغۇراق كلاپاندىن ياسالغان.

3 تۇرۇبا يولى ياساش ۋە ئورنىتىش
3.1 «پاكىز زاۋۇت بىناسى لايىھىلەش كودى» نىڭ 8.3-ماددىسىدا تۇرۇبا ئۇلىنىشى ئۈچۈن تۆۋەندىكى بەلگىلىمە چىقىرىلدى:
(1) تۇرۇبا ئۇلىنىشىنى كەپشەرلەش كېرەك ، ئەمما ئىسسىق سۇغا چىلانغان گالۋاڭلاشتۇرۇلغان پولات تۇرۇبىنى يىپ ئېتىش كېرەك. يىپ ئۇلانغان پېچەتلەش ماتېرىيالى بۇ ئۆلچەمنىڭ 8.3.3-ماددىسىدىكى تەلەپكە ماس كېلىشى كېرەك.
.
(3) تۇرۇبا يولى بىلەن ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۇلىنىشى ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۇلىنىش تەلىپىگە ماس كېلىشى كېرەك. شاللاق ئۇلىنىشنى ئىشلەتكەندە ، مېتال دوپپا ئىشلىتىش كېرەك.
(4) تۇرۇبا يولى بىلەن كلاپاننىڭ ئۇلىنىشى تۆۋەندىكى بەلگىلىمىگە ئەمەل قىلىشى كېرەك

High يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز تۇرۇبا يولى ۋە كلاپانلارنى تۇتاشتۇرىدىغان پېچەتلەش ماتېرىيالى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى تەلەپ ۋە تەبىئىي گاز ئالاھىدىلىكىگە ئاساسەن مېتال گاز ياكى قوش فېرۇل ئىشلىتىشى كېرەك.
Thread يىپ ياكى فاڭگېن ئۇلىنىشىدىكى پېچەتلەش ماتېرىيالى پولىتېترافلوئورېتىلېن بولۇشى كېرەك.
3.2 ئۆلچەم ۋە ئالاقىدار تېخنىكىلىق تەدبىرلەرنىڭ تەلىپىگە ئاساسەن ، يۇقىرى ساپلىقتىكى تەبىئىي گاز تۇرۇبا يولىنى تۇتاشتۇرۇش كېرەك. كەپشەرلەش جەريانىدا بىۋاسىتە تۈگمە كەپشەرلەشتىن ساقلىنىش كېرەك. تۇرۇبا يەڭ ياكى تەييار بوغۇملارنى ئىشلىتىش كېرەك. تۇرۇبا يەڭلىرى تۇرۇبا بىلەن ئوخشاش ماتېرىيال ۋە ئىچكى يۈزىنىڭ سىلىقلىقىدىن بولۇشى كېرەك. سەۋىيىسى ، كەپشەرلەش جەريانىدا ، كەپشەرلەش قىسمىنىڭ ئوكسىدلىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ، كەپشەرلەش تۇرۇبىسىغا ساپ قوغداش گازى كىرگۈزۈش كېرەك. داتلاشماس پولات تۇرۇبا ئۈچۈن ، ئارگون ئەگمە كەپشەرلەش ، ئوخشاش ساپلىقتىكى ئارگون گازىنى تۇرۇبىغا كىرگۈزۈش كېرەك. تېما ئۇلىنىشى ياكى يىپ ئۇلىنىشى چوقۇم ئىشلىتىلىشى كېرەك. فاڭجېننى ئۇلىغاندا ، يىپ ئۇلىنىشى ئۈچۈن فېرۇل ئىشلىتىش كېرەك. ئوكسىگېن تۇرۇبىسى ۋە ھىدروگېن تۇرۇبىسىنى ھېسابقا ئالمىغاندا ، مېتال گازىنى ئىشلىتىش كېرەك ، باشقا تۇرۇبىلار پولىتېترافلوئورېتىلېن گازىنى ئىشلىتىشى كېرەك. گاز قاچىسىغا ئاز مىقداردا كرېمنىي كاۋچۇك ئىشلەتسىڭىزمۇ ئۈنۈمى ياخشى بولىدۇ. پېچەتلەش ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇش. فلانگ ئۇلىنىشىدا بۇنىڭغا ئوخشاش تەدبىرلەرنى قوللىنىش كېرەك.
قاچىلاش خىزمىتى باشلىنىشتىن بۇرۇن ، تۇرۇبىلارنى تەپسىلىي كۆرۈش ،fittings، كلاپان قاتارلىقلار چوقۇم ئېلىپ بېرىلىشى كېرەك. ئورنىتىشتىن بۇرۇن ئادەتتىكى داتلاشماس پولات تۇرۇبىلارنىڭ ئىچكى تېمىنى چىلاش كېرەك. ئوكسىگېن تۇرۇبىسىنىڭ تۇرۇبا ، زاپچاس ، كلاپان قاتارلىقلارنىڭ مايدىن قاتتىق چەكلىنىشى ، ئورنىتىشتىن ئىلگىرى مۇناسىۋەتلىك تەلەپكە ئاساسەن قاتتىق تۆۋەنلىتىلىشى كېرەك.
بۇ سىستېما ئورنىتىلىپ ئىشلىتىشتىن بۇرۇن ، يەتكۈزۈش ۋە تارقىتىش تۇرۇبا سىستېمىسىنى يەتكۈزۈلگەن يۇقىرى ساپلىقتىكى گاز بىلەن پۈتۈنلەي تازىلاش كېرەك. بۇ قاچىلاش جەريانىدا ئېھتىياتسىزلىقتىن سىستېمىغا چۈشۈپ كەتكەن چاڭ-توزانلارنى يوقىتىپلا قالماي ، تۇرۇبا سىستېمىسىدا قۇرۇتۇش رولىنى ئوينايدۇ ، تۇرۇبا تېمى سۈمۈرۈلگەن نەملىك بار گازنىڭ بىر قىسمىنى ھەتتا تۇرۇبا ماتېرىيالىنى چىقىرىپ تاشلايدۇ.

4. تۇرۇبا بېسىمى سىنىقى ۋە قوبۇل قىلىش
. باشقا تۇرۇبىلار ئەۋرىشكە رادىئاتسىيە تەكشۈرۈشىدىن ئۆتكۈزۈلۈشى ، ئەۋرىشكە تەكشۈرۈش نىسبىتى% 5 تىن تۆۋەن بولماسلىقى ، سۈپىتى 3-دەرىجىدىن تۆۋەن بولماسلىقى كېرەك.
(2) بۇزۇلماس تەكشۈرۈشتىن ئۆتكەندىن كېيىن ، بېسىم سىنىقى ئېلىپ بېرىش كېرەك. تۇرۇبا سىستېمىسىنىڭ قۇرغاقلىقى ۋە پاكىزلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن ، سۇيۇقلۇق بېسىم سىنىقى ئېلىپ بېرىلماسلىقى كېرەك ، ئەمما ئۆپكە بېسىم سىنىقى ئىشلىتىش كېرەك. ھاۋا بېسىم سىنىقى پاكىز ئۆينىڭ پاكىزلىق دەرىجىسىگە ماس كېلىدىغان ئازوت ياكى پىرىسلانغان ھاۋادىن پايدىلىنىپ ئېلىپ بېرىلىشى كېرەك. تۇرۇبا يولىنىڭ سىناق بېسىمى لايىھىلەش بېسىمىنىڭ 1.15 ھەسسىسىگە ، ۋاكۇئۇم تۇرۇبا يولىنىڭ سىناق بېسىمى 0.2MPa بولۇشى كېرەك. سىناق جەريانىدا بېسىمنى ئاستا-ئاستا ئاشۇرۇش كېرەك. بېسىم سىناق بېسىمىنىڭ% 50 گە ئۆرلىگەندە ، ئەگەر نورمالسىزلىق ياكى ئېقىپ كېتىش ئەھۋاللىرى كۆرۈلمىسە ، بېسىم بېسىمىنى داۋاملىق% 10 يۇقىرى كۆتۈرۈڭ ھەمدە سىناق بېسىمىغىچە ھەر باسقۇچتا بېسىمنى 3 مىنۇت مۇقىملاشتۇرۇڭ. . بېسىمنى 10 مىنۇت تۇراقلاشتۇرۇڭ ، ئاندىن لايىھىلەش بېسىمىغا بولغان بېسىمنى ئازايتىڭ. بېسىمنى توختىتىش ۋاقتىنى ئېقىپ كېتىشنى بايقاش ئېھتىياجىغا ئاساسەن بېكىتىش كېرەك. كۆپۈكلەشتۈرگۈچى ۋاكالەتچى لاياقەتسىز بولسا لاياقەتلىك بولىدۇ.
(3) ۋاكۇئۇم سىستېمىسى بېسىم سىنىقىدىن ئۆتكەندىن كېيىن ، ئۇ يەنە لايىھىلەش ھۆججىتىگە ئاساسەن 24 سائەت ۋاكۇئۇملۇق ئۇنۋان سىنىقى ئېلىپ بېرىشى ، بېسىم نىسبىتى% 5 تىن ئېشىپ كەتمەسلىكى كېرەك.
(4) ئېقىپ كېتىش سىنىقى. Ppb ۋە ppt دەرىجىلىك تۇرۇبا سىستېمىسىغا نىسبەتەن ، مۇناسىۋەتلىك ئۆلچەمگە ئاساسەن ، ھېچقانداق ئېقىپ كېتىش لاياقەتلىك دەپ قارالماسلىقى كېرەك ، ئەمما ئېقىش مىقدارى سىنىقى لايىھىلەش جەريانىدا ئىشلىتىلىدۇ ، يەنى ئېقىش مىقدارى سىنىقى ھاۋانىڭ قاتتىقلىقىنى سىنىغاندىن كېيىن ئېلىپ بېرىلىدۇ. بېسىم خىزمەت بېسىمى بولۇپ ، بېسىم 24 سائەت توختىتىلىدۇ. ئوتتۇرىچە سائەتلىك ئېقىپ كېتىش لاياقەتلىك 50ppm دىن تۆۋەن ياكى تەڭ. ئېقىپ كېتىشنى ھېسابلاش تۆۋەندىكىچە:
A = (1-P2T1 / P1T2) * 100 / T.
فورمۇلادا:
بىر سائەتلىك ئېقىپ كېتىش (%)
P1- سىناقنىڭ بېشىدىكى مۇتلەق بېسىم (Pa)
P2- سىناق ئاخىرلاشقاندا مۇتلەق بېسىم (Pa)
سىناقنىڭ بېشىدىكى T1 مۇتلەق تېمپېراتۇرا (K)
سىناق ئاخىرلاشقاندا T2 مۇتلەق تېمپېراتۇرا (K)